Isoladores cerâmicos fresados ​​de 5 eixos para equipamentos semicondutores e salas limpas

No mundo de alto risco da fabricação de semicondutores e ambientes de salas limpas, cada componente deve oferecer um desempenho impecável.TFP, nos especializamos em criarIsoladores cerâmicos fresados ​​de 5 eixosque redefinem precisão e confiabilidade. Com mais de 20anos de experiência, nossas soluções são projetadas para atender às demandas rigorosas de equipamentos semicondutores, garantindo estabilidade térmica, isolamento elétrico e operação sem contaminação em ambientes ultrassensíveis.

Por que escolher nossos isoladores cerâmicos fresados ​​de 5 eixos?

1.Capacidades avançadas de fabricação

Nossa instalação está equipada comfresadoras CNC de 5 eixos de última geração, permitindo precisão em nível de mícron na moldagem de cerâmicas avançadas como alumina (Al₂O₃), carboneto de silício (SiC) e nitreto de alumínio (AlN). Diferentemente dos métodos convencionais, a usinagem de 5 eixos permite geometrias complexas — essenciais para componentes como pinos de elevação de wafers, peças de câmaras de deposição e isoladores resistentes a plasma.

Principais características:

•Precisão:Tolerância de ±0,005 mm para integração perfeita em ferramentas de litografia ASML ou sistemas de gravação Lam Research.
•Versatilidade do material:Otimizado para 99,8% de alumina, SiC de alta pureza e outras cerâmicas avançadas.
•Acabamento de superfície:Ra <0,2μm para minimizar a geração de partículas em salas limpas ISO Classe 1.

2.Engenharia de Processos Proprietários

Nossos engenheiros desenvolveramcontroles de processo de malha fechadaque se adaptam à fragilidade da cerâmica durante a usinagem. Combinando técnicas de fresamento a seco com amortecimento de vibração em tempo real, alcançamos superfícies sem trincas e maior vida útil dos componentes, mesmo sob ciclos térmicos extremos (até 1.600 °C).

Destaque da inovação:

•Protocolos de alívio do estresse:Minimize microfraturas em isoladores de AlN para aplicações CVD.
•Tratamentos pós-usinagem:HIP (Prensagem Isostática a Quente) aumenta a densidade e a resistência à corrosão.

3.Garantia de qualidade rigorosa

Todo isolante sofreInspeção de 12 etapas, incluindo:

•CMM (Máquina de Medição por Coordenadas)validação de dimensões críticas.
•Teste de vazamento de héliopara compatibilidade com vácuo.
•EDS (Espectroscopia de Raios X de Dispersão de Energia)para verificar a pureza do material.

NossoSistema certificado ISO 9001/14001garante a rastreabilidade desde a aquisição da matéria-prima (provenientes de fornecedores de primeiro nível, como a CoorsTek) até a embalagem final.

Aplicações: onde a precisão encontra o desempenho

Nossos isoladores são confiáveis ​​em:

•Ferramentas de gravação e deposição:Componentes revestidos de SiC para resistência de plasma em módulos Applied Materials™.
•Implantadores de íons:Pinos de elevação de alumina com revestimentos antiestáticos para evitar deslizamento do wafer.
•Sistemas de Metrologia:Isoladores de baixa expansão térmica para estágios de litografia EUV.

Estudo de caso:Um OEM líder em semicondutores reduziu o tempo de inatividade de ferramentas em 40% após mudar para nossos chuveiros de SiC projetados sob medida, que superaram as peças dos concorrentes no processamento de wafers de 300 mm.

Além da Manufatura: Uma Abordagem de Parceria

•Prototipagem Rápida:Envie seus arquivos CAD e receba protótipos funcionais em 7 dias.
•Embalagem para sala limpa no local:Conjunto opcional de sala limpa Classe 10 para integração direta de ferramentas.
•Suporte técnico vitalício:Nossos engenheiros fornecem serviços de análise de desgaste e reusinagem para estender os ciclos de vida dos componentes.